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真空應用品質流量控制器
設計用於高真空應用的MCV系列是在上述MCE系列的基礎上另增加一集成式氣動截止閥,有效杜絕設定值為零時氣體進入真空腔體,最大量程:0-20 SLPM,另有316L不鏽鋼結構的耐腐蝕系列(MCVS)可選。
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半導體業專用品質流量控制器
MCE系列設計用於取代MKS 1179A和2179A品質流量控制器,設備結構,安裝模式,功能等無任何差異,方便使用者快速,簡易地進行替換,並可客制引腳分配使之與用戶端的控制系統兼容,封閉式閥門設計更是符合半導體行業國際標準,最大量程:0-20 SLPM,另有316L不鏽鋼結構的耐腐蝕系列(MCES)可選。
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雙向品質流量控制器
全球首創控制雙向氣體流量的品質流量控制器,量程範圍:0〜0.5 SCCM至0〜3000 SLPM,另有“Whisper”低壓損雙向流量系列(MCDW)及耐腐蝕雙向流量系列(MCDS)可選。
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MCR大流量品質流量控制器
快速、精確地控制大流量(50-5000 SLPM)氣體
ALICAT R系列閥門為全球獨一無二,接近零摩擦的滾軸閥門
精密控制大流量氣體,獨特的孔板模式可根據不同的應用要求量身定製閥門滾軸。
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低壓損品質流量控制器
最大限度減小壓損對系統的干擾,滿量程壓損最低僅為4mbar(0.06 PSID)。 Alicat “Whisper” 低壓損系列品質流量控制器可控制壓力接近大氣壓的氣體流量,是航空,環境氣體分析等應用的完美選擇,最大量程:0-500 SLPM。
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標準型品質流量控制器
全球控制反應最快,最穩定的品質流量控制器,可測量並控制最低至 2.5 microliters per minute的流量,依照使用者應用需求量身定製閥門孔徑以確保達到最佳工作效果。