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半導體業專用品質流量控制器

MCE系列設計用於取代MKS 1179A和2179A品質流量控制器，設備結構，安裝模式，功能等無任何差異，方便使用者快速，簡易地進行替換，並可客制引腳分配使之與用戶端的控制系統兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業國際標準，最大量程：0-20 SLPM，另有316L不鏽鋼結構的耐腐蝕系列（MCES）可選。