真空應用品質流量控制器

設計用於高真空應用的MCV系列是在上述MCE系列的基礎上另增加一集成式氣動截止閥，有效杜絕設定值為零時氣體進入真空腔體，最大量程：0-20 SLPM，另有316L不鏽鋼結構的耐腐蝕系列（MCVS）可選。