耐腐蝕品質流量控制器

採用316L不鏽鋼結構以抵擋NH3，H2S，的SiH4等腐蝕性氣體

主要參數「欄目下方可查看設備預置腐蝕性氣體清單

量程範圍：0〜0.5 SCCM至0〜4000 SLPM。